由浙江晶盛機電股份有限公司（以下簡稱“公司”）承擔的“8 英寸區熔硅單晶爐國產設備研制”（以下簡稱“該課題”），近日順利通過國家 02 專項驗收專家組的正式驗收。

    該課題是由天津市環歐半導體材料技術有限公司承擔的“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項（簡稱“02 專項”）“區熔硅單晶片產業化技術與國產設備研制”項目下的課題之一。 

    專家組經過實地檢查、現場測試、資料審查、內部驗收及驗收前的現場復查等相關驗收工作后，對課題完成情況作出了總體評價意見：“課題組完成了任務合同書規定的研發內容。研制出 8 英寸區熔硅單晶爐，各項技術指標、經濟指標、知識產權指標、人才隊伍建設指標及平臺建設指標均達到任務合同書的考核要求。提供的驗收資料齊全。任務驗收專家組同意課題通過驗收。”

    截至目前，通過該課題的實施，已在公司生產的區熔硅單晶爐上成功拉制出國內首根 8 英寸區熔硅單晶棒，驗證了公司自主研制的區熔硅單晶爐技術取得了突破性進展，相關設備獲得了 26 項國家專利，其中爐內晶體剪除機構、多 CCD成像和輔助加熱等技術為國際首創，課題產品已成功產業化并形成銷售，取得了良好的社會、經濟效益，產業化前景優勢明顯。

    該課題的實施，有效地打破了國外大直徑區熔硅單晶爐的技術壟斷，縮小了我國區熔單晶硅材料制造技術與國際先進水平的差距，體現了公司的研發實力，有利于公司立足晶體生長與智能化加工裝備的主業，推動“新材料、新裝備”發展戰略全面實施。